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分子泵機組選用旋片泵、渦旋泵、干泵等作為前級預抽泵，分子泵運行后能迅速使密閉空間獲得高真空，分子泵應用于高真空和更高真空度范圍(約10-8-10-1Pa)。分子泵作為高、更高真空泵種無法在大氣壓強下直接使用，其正常工作需要一定的啟動壓強(分子泵啟動壓強一般為0.1-100Pa)，通常使用時需要連接低真空泵種作為前級預抽真空泵。分子泵機組是以分子泵為主泵，以旋片泵、渦旋泵為前級泵串聯(lián)而成的組合真空設備，分子泵是基于動量傳遞原理，在變頻電源驅動電機的帶動下高速旋轉，在分子流區(qū)域內，氣體分子與高速轉動的葉片表面碰撞，動量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子產生定向流動而被排出泵外，從而達到抽氣的目的。分子泵屬于動量真空泵，是通過使分子定向流動而被排出泵外。
分子泵維修主要在前級泵實現(xiàn)啟動壓強后才進行抽氣，與低真空泵配合進行使用，應用于表面物理和質譜類科研儀器，離子注入和刻蝕等半導體前道工藝裝備，ITO、AR、AF和Low-E等工業(yè)過程，空間環(huán)境模擬、高能物理、低溫超導等領域，分子泵大致可分為油潤滑分子泵、脂潤滑分子泵及磁懸浮分子泵三類，磁懸浮分子泵是利用磁力作用將轉子懸浮于空中使轉子和定子無接觸運轉，與油潤滑和脂潤滑分子泵不同，具備可實現(xiàn)完全無油化、軸承的壽命長、轉子轉速高、振動與噪音低、更安全性高、可任意角度安裝等產品優(yōu)勢，是現(xiàn)階段分子泵技術及產品創(chuàng)新的主要方向。
分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵的統(tǒng)稱，是一種非常常見的獲得高真空和更高真空的設備。分子泵內部有高速旋轉的轉子，支撐轉子平滑轉動的軸承承擔了很大的負荷，正確的使用和及時的保養(yǎng)，對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常工作意義重大。